產品概述:
直拉法晶體生長專用設備,可實現在高壓、真空和保護氣氛下直拉生長晶體。
采用自動稱重結構,在保證晶體品質的前提下實現了直拉晶體的自動生長過程。
產品特點:
高精度的傳感器和控制軟件
自動控制晶體外形
最高溫度:2400℃
晶體尺寸:2-8英寸
應用范圍:
應用于氧化鎵(Ga2O3)單晶生長,SiC單晶生長