產品特點：
●石墨烯薄膜產業化設備
●寬幅卷對卷連續生長
●APC系統：真空蝶閥自動控制
●碳源等工藝氣體MFC控制
●薄膜制備過程全自動控制
●三腔室結構
技術指標：
●工作溫度：800-1050℃
● 恒溫區：1000mm、五段控溫
●工藝管材質：石英管
● 工藝管內徑：Φ550mm
●銅箔寬度：500mm
● 銅箔運行速度約：100-400mm/min，可調
●極限真空度：小于3Pa，可恒壓控制
