產品概述：

●微波等離子化學氣相沉積技術（MPCVD），通過等離子增加前驅體的反應速率，降低反應溫度。適合制備.面積大、均勻性好、純度高、結晶形態好的高質量的金剛石單晶和多晶薄膜。

技術指標：

●測溫：300-1500°C

●極限真空：5*10E-4Pa

●氣路系統：6路

● 壓力范圍：5-300Torr

●微波功率：0.5-15Kw連續可調

● 功率穩定性：<2%

●波紋：≤1%

● 微波頻率：2450MHz±50MHz

●微波泄露值：<5Mw/cm2

● 放電區域：≥100mm

●沉積區域：≥80mm

● 生長速率：>12um